京都議定書正式生效 光電半導體廠無直接衝

主題：京都議定書正式生效 光電半導體廠無直接衝

擊 惟新廠持續擴建 要達到2010年減量目標 廠

商還要再加把勁---20050216電子時報

以降低大氣層中氟氯碳化物含量、避免地球溫室效應持續惡化為目標的國際環保協定「京都議定書」，16日起正式生效。對此科學園區同業公會環境保護委員會召集人暨聯電經理范光榮表示，台灣的光電與半導體廠自2000年前後，已自發地著手改善，而且與鋼鐵、水泥、石化業相比，光電半導體業製造的全氟化物（PFCs）比重可說微乎其微，因此該國際公約對台灣光電半導體業並無直接衝擊；只是，由於12吋廠持續擴建，2010年要達到全球規定的減量目標，廠商還要再加把勁。

由工業先進國家主導促成的京都議定書（Kyoto Protocol）16日正式生效，目標是在2008～2012年的期限內，包含二氧化碳、甲烷、氧化亞氮、全氟化碳及六氟化硫等溫室效應氣體排放量，平均應減少到比1990年排放量低5.2％的水平。

在光電、半導體密度高的台灣，以C2F6為主的全氟碳化物是廠商在清理反應腔（chamber）、乾式蝕刻製程（dry etching）和化學氣相沉積（Chemical Vapor Deposition；CVD）清洗製程時，所必用的氣體，范光榮表示，台灣雖非聯合國的一員，但在台灣半導體協會的居間協調下，廠商彼此間已在1998年配合國際進程，制定PFCs的減量目標，並自2000年開始進行。

據表示，廠商近年來從事PFCs減量的方法，主要是在8吋廠相關設備末端加裝燃燒設施，將PFCs的氟氯碳化物含量減低，范光榮表示，該方法的成效極佳，去除率高達90％；另一種方式，則是改用C3F6等取代C2F6，以降低氟氯碳化排放量。

范光榮說，由於台灣高科技廠早已經開始因應，因此京都議定書的正式實施，短期內並無直接衝擊，不過，雖然8吋廠配合改善降低PFCs排放量，但廠商為求成長，12吋廠又得持續興建，因此2010年要達到國際減量標準，仍需持續努力。